Das Forschungsteam Acoustic Microsystems versteht sich als zuverlässiger wissenschaftlicher Partner für die Realisierung und Analyse von mikroakustischen Systemen der nächsten Generation für verschiedene Anwendungsbereiche. Unsere F&E ist insbesondere auf die Entwicklung von Labordemonstratoren, die Validierung von Geräten in realen Umgebungen und den Technologietransfer in die Industrie ausgerichtet. Um die maßgeblichen Effekte auf der Mikro- und Nanoskala zu verstehen und praktisch nutzbar zu machen, führen wir jedoch auch ausgewählte Grundlagenuntersuchungen durch. Darüber hinaus ergänzt sich unsere Gruppe auf dem Gebiet der hochfrequenten akustischen Wellen hervorragend mit dem Forschungsteam Oberflächendynamik.
Unser F&E-Ansatz erlaubt es uns, die gesamte Technologiekette akustischer Mikrosysteme zu adressieren, von deren CAD-basiertem Design über die Realisierung fortschrittlicher Dünnschichtsysteme, die Mehrschicht- und Gradientenschichten zusammen mit funktionalen Barriereschichten beinhalten, bis hin zu unkonventionellen lithographischen Techniken für die On-Chip-Mikrostrukturintegration zusammen mit akustischen Wandlerstrukturen und der Realisierung von einfach zu handhabenden mikroakustischen Demonstratoren. Dieser Ansatz wird begleitet von dedizierten analytischen Methoden für z.B. Filmmorphologie(-veränderungen) und Filmspannungsentwicklung, Bauteil- und Filmgeometrie, Partikelverhalten in mikrofluidischen Strukturen unter akustischer Anregung und Aerosoluntersuchung, sowie analytische und numerische Untersuchung von physikalischen Effekten, die das Bauteilverhalten bestimmen, z.B. akustische Resonanzeffekte und stressassoziierte Bauteildegradation.
Das Forschungsteam Akustische Mikrosysteme ist ein Kernbestandteil des SAWLab Saxony - das wissenschaftliche Netzwerk für Akustoelektronik! Im SAWLab Saxony freuen wir uns darauf, zum Erfolg IHRER Technologie beizutragen.
Die Gruppe Akustische Mikrosysteme verfügt über bzw. hat - in enger Zusammenarbeit mit anderen IFW-Gruppen aus den Bereichen Mikrostrukturierungstechnik und Dünnschichtanalytik - direkten Zugriff auf alle Geräte, die für die Arbeit an akustisch-wellenbasierten Bauelementen in allen Stationen ihrer Entwicklung benötigt werden.
